Tirohanga: 0 Kaituhi: Kaiwhakatika Pae Wā Whakaputa: 2026-08-06 Takenga: Pae
Ko te whakaheke haere tonu o nga taputapu semiconductor me te pikinga o te Whakakotahitanga Rawa Nui (VLSI) e hiahia ana ki nga taonga whakangao ka taea te whakahaere i te taumahatanga wera me te ahotea miihini. Ka rahua nga whakakii koki koki tawhito i te nui o nga tarapi e hiahiatia ana mo nga maramara matatau. Ka paheke mai te pokey ki roto i nga pūhui whakakikorua epoxy (EMC), te mau kaha abrasive i runga i nga taputapu whakangao, me te nui o te tupono ki te tahi waea, ka pakaru maramara ranei. Ki te whakatutuki i nga reeti whakakii ki te 90% i te wa e mau tonu ana te mahi, me whakawhiti nga miihini ki nga tohunga motuhake paura silica porohita mo te takai hiko . Ko tenei whakawhitinga ka whakatau i nga pounamu rheological, ka taea te utaina ki te whakakii me te kore e whakararu i nga ahuatanga rere o te kapia kaore i rongoa. Ka tirotirohia e matou nga paearu arotake hangarau, nga tikanga whakangao, nga mahi hokohoko, me nga tupono ki te whakatinana i enei rauemi.
Ko te Morphology e tohu ana i te rere: Ko te paura silica sphericity teitei he mea whakahau kia eke ki te kiato pikaunga teitei (tae atu ki te 90%) i roto i nga EMCs me nga kapia kei raro i te wa e pupuri ana i te iti o te pokey me te aukati i te whiti waea i te wa e whakauru ana.
Ma te Maamaa ka aukati i te kore: Ko te paura silica porowhita parakore teitei (99.9%+) me nga poke o te katote me te iti o nga tukunga alpha-matūriki kaore e taea te whiriwhiringa hei aukati i nga hapa ngawari i roto i nga taputapu mahara me te pirau i roto i nga waahanga whakauru.
He Tino Nui te Whakaritenga PSD: Ko te kowhiri i te Tohatoha Rahi Matūriki (PSD) tika—ko te whakakotahi i nga rahi i waenga i te 0.01 μm me te 50 μm, me nga tapahi kikii penei i te 2.5 μm mo nga whakakī teitei—koinei te kaitapa tuatahi mo te whakataurite i te Whakaaetanga o te Whakawhanui Ngawha (CTE) whakahekenga me te rere kapia.
Tikanga Hangahanga: Ko te tikanga whakahiato a te kaiwhakarato (hei tauira, te whakakotahitanga o te mura me te sol-gel) ka whakatau i te maatanga o te turanga, te riterite o te sphericity, me te tika mo nga waahanga whakamahi mutunga.
Ko te Maamaatanga Mata ka Whakaitihia te Morearea: Ko te silica porowhita ultra-pai kaore i te rongoatia he pai ki te whakahiato; he mea nui te arotake i te kaha o te kaiwhakarato ki te whakarereke i te mata (hei tauira, nga kaihoko hono silane) hei whakarite kia marara rite.
Ko nga kohinga semiconductor hou e mahi ana i raro i nga here tinana. Me whakarato te encapsulant i te roha waiariki iti, te kawe waiariki teitei, te aukati makuku tino, me te nui o nga hua whakangao. Ko nga mate Silicon he iti rawa te whakarea o te roha wera (CTE), te nuinga o te 2.6 ki te 3.0 ppm/K. Ko nga kapia epoxy kaore i whakakiia e whakaatu ana i te CTE teitei ake, he nui ake te 60 ppm/K. Ka noho nga papa mata parahi ki te 17 ppm/K. Ko tenei koretake kino ka whakaputa i te ahotea werawera i te wa e eke paihikara ana. Ki te kore e whakahaeretia, ka arai tenei taumahatanga ki te whakamotitia i te atanga whakapiri mate, te ngenge o nga hononga, te pakaru o te mate kino ranei. Ko te mahi tuatahi o te rauemi whakakii ko te whakawhiti i tenei aputa tinana. Ma te utaina o te kapia ki te whakakī CTE iti, ka peia e nga miihini te CTE hiato ki raro i te wa e mau tonu ana nga taonga whakamaarama hiko o te kete.
I roto i te hanganga o nga EMC me nga kapia raro, Ko te paura silica mo te takai hiko hei whakakii mahi tuatahi. Ko enei kapia he 70% ki te 90% silica te taumaha. Ka tiakina e te whakakii ka mate te kirika pakaru mai i te wiri tinana, te whakauru makuku, me nga poke matū. Ko nga tukanga whakakoi whakawhiti e hiahia ana te EMC ki te pupuri i te iti o te pokey (te nuinga i raro i te 15 Pa · s i te 175 ° C) kia rere ki roto i nga kohanga whakarewa matatini. I roto i nga kapi kapi e whakamahia ana mo nga hoahoa pore-matapihi, he kaha ake nga whakaritenga. Me rere te whakakii i roto i nga waahi whaiti penei i te 10 ki te 50 micrometers me te kore e tau, e kore e puta kohanga. Ko te ahua porohita ka taea e nga matūriki te huri haere tetahi ki tetahi, me te paahitanga o nga puku konutai ngawari, me te whakarite kia rite te tohatoha o raro o te mate me te whakanui i te tika o te hanganga o te huihuinga whakamutunga.
I tua atu i nga whakakao wai me nga pūhui hangai, kei te kaha te whakamahi i te silica porowhita ki te hanga i nga taputapu miihini hiko me te ngawari. I roto i nga Waahanga Whakakakahu-Kaahui-nui (CCL) e whakamahia ana mo nga korero 5G, radar motuka (hei tauira, nga punaha 77 GHz), me nga papa tuumau matatau, he tino whakaritenga te pumau o te ahu. Ko te whakauru i te silica spherical ki roto i te bismaleimide triazine (BT), PTFE substrate matrices ranei ka whakaiti i te taimau dielectric (Dk) me te tauwehe tohanga (Df). Ka whakaatuhia e Silica te iti Dk tata ki te 3.8 me te Df ki te 0.001. Ma tenei ka whakaiti i te ngaronga tohu i roto i te tuku raraunga tere. Ko te mata maeneene o nga matūriki porowhita ka aukati i te moroiti-abrasion o nga raranga muka karaihe ngawari e whakamahia ana i roto i enei raima, ka mau i te kaha miihini o te poari i te wa e pehi ana me nga mahi keri.
Ko te whakawhiti mai i te silica kuru koki ki te silica porowhita he tohu nui i roto i te miihini whakakakahu. Ko te silica koki ka hangaia e te miihini mira poraka kiripaka. He iti te utu engari ka tino whakatiki i nga reiti whakaki. Ko nga matūriki koki he waahi mata motuhake teitei (SSA). Ko te tikanga o te SSA teitei he nui ake te kapia wai e kore e nekehia i runga i te mata o nga matūriki, ka iti ake te kapia kore utu e waatea ana hei whakahaere i te rere. Ka piri nga tapa taratara ki roto i te kapia, ka piki ake te potata me te whakakakahu i nga taputapu ki roto i nga miihini me te tuku puha. Ka taea e te spherical silica te reiti whakakī tino teitei me te iti o te waku. Ko nga papa maeneene, porotaka ka whakaiti i te katoa o te horahanga mata mo ia roopu roopu, me iti ake te kapia hei whakamakuku i nga matūriki. Ma tenei ka taea e nga miihini ki te kiki i etahi atu silica ki roto i te rōrahi kotahi, ka whakaheke i te CTE me te whakapai ake i te kawe wera me te kore e huri i te kapia kaore i rongoa hei totoka kore mahi.
Whakatauritenga o Angular vs. Spherical Silica Fillers
Taonga |
Angular Crushed Silica |
Silica Porohita |
|---|---|---|
Morahi Uta Mahi (wt%) |
~70% |
85% - 90%+ |
Horahanga Mata Motuhake (SSA) |
Teitei |
Iti (Ariori iti rawa) |
Paanga Pokarekaretanga Resin |
Te piki ake i te uta teitei |
Ka piki haere, ka mau tonu te rere |
Whakakakahu Utauta (Muri/Nozzles) |
Abrasion nui |
Waku iti |
Waea Sweep Rice |
Teitei |
Iti |
Ko te tikanga whakahiato ka whakatau tika i te turanga tinana me te matū o te whakakii. Ko te whakakotahitanga o te mura o mua ko te whangai i te paura kiripaka koki tino parakore ki roto i te plasma teitei-te wera, te mura o te hāora-waiwai (he nui ake i te 2000°C). Ka rewa tonu nga matūriki kōhikohiko, ka kumea mai e te mānukanuka o te mata ki roto i nga porowhita tino pai i mua i to puta atu i te rohe ngingiha me te whakamatao tere. He tino tauineine tenei tikanga me te whakaputa i te nuinga o Ko te hiko hiko porowhita porowhita e whakamahia ana i roto i nga IC arorau paerewa, nga waahanga motuhake, me nga CCL paerewa.
Ko te whakahiato matū matatau, penei i te tukanga sol-gel, Vapor-phase moisture transport (VMC), te hanga i nga matūriki silica mai i te taumata ngota. Ko te Sol-gel ko te whakamaarama me te whakamaaramatanga o te alkoxide silicon (pēnei i te tetraethyl orthosilicate, TEOS) i roto i te otinga waipiro me te whakakorikori haukini. Na te mea karekau e whakawhirinaki ki te keri kiripaka, ka tutuki te whakahiato matū ki te tino parakore me te tino kikorangi. Ka whakamahi a VMC i te paura whakarewa silicon e tauhohe ana ki te hāora me te kohu wai i roto i te reactor pāmahana teitei. Ka whakatauhia e nga miihini te silica whakahiato matū mo nga taputapu mahara tapahi-mata, te hikohiko hiko, me nga maramara arorau node matatau kaore e taea te whakamana i nga parapara.
Nga Tikanga Hangahanga Paura Silica me nga Whakaritenga
Tikanga Hangahanga |
Puna Rawa |
Taumata Maamaa |
Tauwehenga Sphericity |
Taupānga Tuatahi |
|---|---|---|---|---|
Whakakotahitanga mura |
Kua keria te kiripaka parakore teitei |
99.5% - 99.8% |
>0.95 |
Nga EMC Paerewa, nga IC arorau, nga CCL |
Te Hanga Matū (Sol-Gel) |
Silicon alkoxides (TEOS) |
>99.99% |
>0.98 |
Pūmahara matatau, taputapu auau-tiketike |
Te Kawenga Makuku Makuku (VMC) |
Te konganuku Silicon / Halides |
>99.9% |
>0.97 |
Ko nga whakakī tino pai rawa atu, te takai maramara pore |
Ka ine te sphericity hei ōwehenga, i te mea he rite te 1.0 o te awheawhe tino tika. Ka inehia tenei ma te whakamahi i te rorohiko tātari atahanga aunoa e hono ana ki te Matawai Electron Microscope (SEM), e tatau ana i te porohita o nga mano matūriki. Mo te takai hiko, he pai te tauwehenga sphericity >0.95. Ko nga matūriki he iti ake te ōwehenga e whakaatu ana i te korikoritanga o te mata ka piki ake te horahanga mata. Ko te waahi mata motuhake ka nui ake te tango i te kapia epoxy wai, ka iti ake te kapia e waatea ana hei whakahaere i te rere. Ko te paura silica sphericity teitei e hono tika ana ki te whakaheke i te pokey i roto i te ahua kore. Ma tenei pokey iti ka taea e te puhui te rere i roto i nga hangahanga hangahanga matatini, te whakatere huri noa i nga here waea kiato, me te whakaki i nga kohao miihini me te kore e mahanga i nga pukoro hau, ka kore ranei e oti te whakakii.
Ko te eke ki te 90% reeti whakakī kare e taea me te rahi matūriki kotahi. Ka whakawhirinaki nga miihini ki te Tohatoha Rahi Matūriki (PSD) maha-modal ki te whakakore i nga waahi waenga. Ma te whakakotahi i nga matūriki matotoru, reo, me nga matūriki pai—te nuinga mai i te 0.01 μm ki te 50 μm—ka uru tika nga matūriki iti ki roto i nga aputa ka waiho e nga mea nui ake. E whai ana tenei i nga tauira taake aa-aari, penei i nga tauira Andreasen, Furnas ranei, e whakanui ana i te hautanga totoka o te hiato.
Ko nga tapahi kiki motuhake e hiahiatia ana mo te kohinga teitei. I roto i nga kapi kapi mo nga hoahoa pore-matapihi, he tino whaiti te aputa i waenga i te mate me te tïpako. Mēnā ka nui ake te rahi o te matūriki i te hautoru o te teitei o te āputa, ka tāmi ngā matūriki, ka wehe te whakakī me te toto kapia. He maha nga wa ka tohua e nga miihini nga tohatoha kaha kia pai ai te mahi o te kapi.
Whakatauhia te rahinga iti o te mokowhiti i roto i te hoahoa mokihi (hei tauira, 15 μm putunga pitch).
Whakaritehia te tapahanga teitei morahi (D100) mo te paura silica, kia kaua e neke ake i te kotahi hautoru o te rahinga aputa (hei tauira, 5 μm).
Tīpakohia he hautau parakore tuatahi hei whakarite i te matrix hanganga (hei tauira, D50 o te 2.5 μm).
Whakaranuhia ki nga hautau pai tuarua me te tuatoru (hei tauira, 0.5 μm me te 0.1 μm) hei whakaki i nga kohanga i waenga i nga matūriki matotoru.
Manatokohia te PSD whakahanumi whakamutunga ma te whakamahi i te tātari rerekee laser kia kore ai he agglomerates rahi.
Ka taea e nga huānga tohu i roto i te matrix silica te whakakore i te mahi semiconductor. Ko te paura silica porowhita parakore teitei me kaha te whakahaere i runga i nga waahanga e rua o nga mea whakakino: nga irirangi irirangi me nga poke katote.
Ko te Mana Tukunga Arepa he tawhā nui mo nga taputapu mahara. Kei roto i te quartz maori etahi tohu o te Uranium (U) me te Thorium (Th). I te mea ka paheke enei huānga iraruke, ka tuku matūriki alpha (helium nuclei) me te kaha i waenga i te 4 me te 9 MeV. Mena ka pa te matūriki alpha ki tetahi node tairongo i roto i te maramara SRAM, DRAM kiato teitei ranei, ka whakaputa takirua hiko-hiko i roto i te kirikiri. Ka taea e tenei utu tere te huri i te ahua o te moka mahara, ka puta he 'hapa ngohe.' Ko nga taputapu mootaki mo nga maramara mahara e hiahia ana kia iti te iti o te alpha (ULA) silica, me nga taumata U me Th ka tino whakahaerehia i raro i te 0.001 ppb, ka iti ake i te 0.001 nga tatau mo ia haora mo ia henimita tapawha (cph/cm²).
Ko nga poke o te katote he riri nui ki te waea tinana o te maramara. Ko nga katote koreutu penei i te konutai (Na+), te pāhare pāporo (K+), me te pūhaumāota (Cl-) ka neke haere i te aroaro o te makuku me nga waahi hiko. I te roanga o te wa, ka heke enei katote ki te konumohe, ki nga paparanga whakarewa parahi ranei i runga i te mate, ka puta te waikura anodic, cathodic ranei. Ma tenei ka piki ake te aukati hiko, te ara iahiko poto, me te kore o te taputapu. Ko nga paepae e whakaaetia ana mo nga poke katote ka pupuri i raro i te 1 ppm hei whakapumau i te pono mo te wa roa.
Ko te kaupapa miihini tuatahi o Ko te silica porowhita mo nga semiconductors he rite te CTE. Ka ka ana te maramara, ka puta te wera. Ko te mate silicon, te anga mata parahi, me te epoxy encapsulant ka huri katoa ki nga reiti rereke. Mena ka nui rawa te toronga o te EMC, ka toia e ia nga here waea ka weriweri i te tïpako. E whai ana te CTE o te rauemi hiato i te ture o te ranunga. Ma te uta i te epoxy ki te 90% silica porowhita (he CTE kei te 0.5 ppm/K), ka heke iho te CTE o te rauemi hiato mai i te 60 ppm/K ki te 8-15 ppm/K. He rite tonu tenei ki te mate silicon me nga waahanga parahi. Ma tenei tauritenga tika ka aukati i te pakanga, ka aukati i te wawaotanga o nga atanga, ka whakakore i te ngenge waiariki i roto i nga mano o nga huringa pāmahana ka wheakohia e tetahi taputapu i roto i tona oranga.
Ka piki ake te kiato o te transistor, ka noho te rere o te wera hei take whakatiki i te mahinga o te taputapu. Ko te epoxy kare i whakakiia he waiariki waiariki, me te kawe waiariki tata ki te 0.2 W/m·K. He teitei ake te kawe wera o te Silica (tata ki te 1.3 ki te 1.5 W/m·K). I te wa e whakakiia ana te silica porowhita ki roto i te matrix kapia, ka whakapiri tinana nga matūriki ki a ratau, ka eke ki te paepae percolation. Ma tenei ka hanga nga huarahi wera haere tonu. Ma tenei whatunga e kawe te wera mai i te mate silicon ka whakawhiti ki te totohu wera o waho, ki te taiao ambient ranei. Ka pai ake te whakamaaramatanga o te wera, ka pana i nga rohe o runga o nga mahi mo nga waahanga hiko-nui penei i nga IGBT, MOSFET, me nga miihini miihini.
I roto i te tukanga niao whakawhiti, ka akina te wai EMC ki roto i nga kohao pokepokea ai i raro i te pehanga teitei (te nuinga o te 5 ki te 10 MPa). Mēnā he koki ngā matūriki whakakī, ka puta te wai-nui-nui ka kaha te toia ki runga i nga waea maamaa koura, parahi ranei e hono ana i te mate ki te anga mata. Ko enei waea he 15 ki te 25 micrometer anake te matotoru. Ma tenei toia ka 'wire sweep,' ka piko nga waea kia pa, ka poto te arawhiti. Ko te rere maeneene o nga matūriki porowhita ka tino whakaiti i tenei kaha toia, ka mau tonu nga waea me te pupuri i nga hua whakangao teitei. I tua atu, karekau nga matūriki porowhita e rakuraku i te tira whakapakeke o nga pokepokea ai. Ko tenei whakahekenga o nga kakahu me nga roimata ka whakaheke i nga utu tiaki taputapu, ka roa te oranga o nga taputapu, me te whakapai ake i te riterite o te puranga-ki-te-papa ki te raina whakaputa.
Ahakoa Ko te paura silica porowhita he pai ake te rere, ko te whakahaere i nga tohu tino pai he wero motuhake. He nui te kaha o te mata o nga matūriki iti-micron, a, ka kaha te awe ki nga ope a Van der Waals. Ina whakaurua ki roto i te epoxy wai, ka piri tahi enei matūriki pai, ka hanga agglomerates. Ka mahi enei agglomerates hei matūriki nui horihori, e whakararu ana i te PSD i ata hangahia, ka taia te rauemi ki roto i nga waahi whaiti ki raro. I roto i te kete kua rongoa, ka hangaia e nga agglomerates nga kuhanga o te ahotea o te rohe, te rongoa koretake, me nga waahi ngoikore ka timata nga kapiti. Ko te whakatutuki i te whakamararatanga rite ka hiahiatia he taputapu whakaranu kutikuti teitei, penei i nga whakaranu aorangi, nga mira e toru-roira ranei, me te whakahaere tupato i te ahua o te rheological o te kapia i te wa o te whakakotahitanga.
Hei aukati i te agglomeration me te whakapai ake i te kaha miihini o te hiato, me whakatika te atanga i waenga i te silica parakore me te matrix epoxy organic. He roopu silanol hydrophilic (-OH) i runga i te mata o te silica kare i rongoatia, ka kore e hototahi ki nga kapia epoxy hydrophobic. Ko te maimoatanga i mua i te paura silica me nga kaihoko hono silane hei whakaoti i tenei take. E rua nga pito mahi o te ngota ngota silane: ka uru tetahi ki te hauwai me te whakamaarama ki te hono ki nga roopu silanol i runga i te silica, ka tauhohe tetahi ki te polymer epoxy i te wa e rongoa ana. Ko tenei piriti matū ka pai ake te atanga atanga, ka aukati i te urunga o te makuku ki te taha o nga rohe matūriki, me te whakanui i te marara rite. Me aromatawai nga roopu miihini ki te hoko mai i te silica i mua i te rongoa mai i te kaiwhakarato, ki te whakarereke ranei i te mata i roto i te whare i runga i o raatau kaha ki te whakaranu me te maarama o te hanga.
Nga Kaihoko Whakakotahi Silane Maamaa mo te Maimoatanga Mata o Silica
Momo Kaituku Hononga |
Rōpū Mahi |
Pūnaha Resin Target |
Painga Tuatahi |
|---|---|---|---|
Epoxysilane |
Glycidoxy |
Epoxy Paerewa (EMC, Whakakī Raro) |
He pai te hononga matū, he iti te paanga o te pokey |
Aminosilane |
Amino |
Epoxy, Polyimide |
Te hohenga teitei, nga wa whakaora tere |
Methacryloxysilane |
Methacrylate |
Nga kiriaku, nga polyesters |
Ko te hototahitanga whakawhiti turoro-kore |
Ko nga rauemi mata koretake e arahi tika ana ki nga oma whakangao rahua. Ko nga rereketanga i roto i te PSD, te tauwehenga sphericity, nga taumata parakore ranei i waenga i nga roopu kaiwhakarato ka whakarereke i te pokey o te EMC, ka kore e oti te whakakii, ka tahia waea ohorere ranei. Ko te whakaiti i tenei raru me tino tohu tohu mekameka tuku. Me tono nga roopu hoko i nga tuhinga Whakatau Kounga (QA) matawhānui mo ia puranga.
Whakahaerehia te tātari wehewehe taiaho ki nga roopu taumai hei manatoko i te PSD momo-maha e rite ana ki nga whakaritenga D10, D50, me D90 kua whakaaetia.
Whakamahi Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS) ki te ine i nga konganuku me nga poke katote ki raro ki te taumata-wa-piriona (ppb).
Whakahaerehia te tātari atahanga Scanning Electron Microscopy (SEM) aunoa hei whakaū i te ahua o te ahua me te whakarite kia noho tonu te owehenga sphericity ki runga ake i te 0.95.
Whakahaerehia te tatau rere hau hau ki te manatoko kei te noho tonu nga reiti tukunga alpha ki raro i te 0.001 cph/cm² paepae mo nga tono tohu-mahara.
Tonoa he tauira pairati 5kg o te whakakotahitanga momo-maha kia rite ki o rahinga o te kohao mahanga me te waatea.
Whakahaerehia te tohu rearangi ma te whakamahi i te koeko me te pereti viscometer i to taunga whakamahana hangai (te nuinga o te 175°C) hei manatoko i te whanonga rere me nga tepe pokey.
Whakahaerehia te paihikara waiariki paerewa JEDEC (Taahua G, -40°C ki te +125°C) i runga i nga kohinga tauira hei whakamana i te whakahoatanga CTE me te tirotiro mo te delamination mate.
Te tirotiro i nga whakaurunga whakamatautau tātari a te kaiwhakarato kia mohio kei a raatau te ICP-MS me nga taputapu tatau-a-waa mo te tiwhikete puranga pono.
A: Ko te silica paerewa kua pakaruhia ma te miihini, ka puta mai he matūriki koki, he koki koki me te horahanga mata teitei. Ko tenei ahua kohikohiko te hanga i te waku o roto, ka whakawhāiti i te utaina ki te 70% i mua i te whakapouri rawa o te kapia ki te tukatuka. Ka hangaia te silica porohita ma te whakakotahitanga mura, te whakahiato matū ranei hei hanga matūriki maeneene, porotaka. Ka whakaitihia e tenei morphology te mata o te mata me te waku, ka taea e nga miihini ki te whakatutuki i te kiato kiki ki te 90% i te wa e mau tonu ana te iti o te pokey e hiahiatia ana mo te whakawhiti i te hangai me te whakaheke i te tuku.
A: Kei roto i te kiripaka maori te maha o nga momo iraruke irirangi, ina koa ko te Uranium me te Thorium. Ka pirau enei huānga, ka tuku matūriki alpha. Mena ka pa te matūriki alpha ki te node tairongo i roto i te taputapu mahara kiato nui penei i te SRAM, DRAM ranei, ka puta he utu hiko ka taea te huri i tetahi moka mahara, ka puta he hapa ngawari. Ko te silica parakore teitei ka uru ki te whakahiato matū matatau, ki te purenga kaha ranei ki te whakaheke i enei huānga reo irirangi ki nga taumata alpha-iti rawa (ULA), te tikanga kei raro iho i te 0.001 nga wahanga mo ia piriona.
A: Karekau he rahi matūriki pai kotahi. Ki te whakatutuki i te kiato pikaunga morahi me whiwhi te Tohatoha Rahi Matūriki (PSD) maha. Ka whakaranuhia e nga miihini nga matūriki matotoru, reo, me nga matūriki pai—i te nuinga o te waa mai i te 0.01 μm ki te 50 μm—no reira ka whakakiia e nga matūriki iti nga kohao i waenga i nga mea nunui. Ko te tapahi runga motuhake ka whakawhirinaki ki te tono. Hei tauira, ko te whakakii i raro i te kapi mo nga hoahoa pore-matapihi me tino nui te rahi o te matūriki, i te nuinga o te waa ka kati ki te 2.5 μm, 5 μm ranei, kia kore ai te whakakī e piri ki nga waahi whaiti.
A: Ko nga kapia epoxy kaore i whakakiia he Whakaaetanga teitei o te Whakawhanui Ngaaahu (CTE), i te mea ka mate te silicon he CTE iti rawa. Ko tenei koretake ka nui te ahotea i te wa e mahi ana. Na te mea he ngawari te rere o te silica porowhita, ka taea e nga miihini te uta i te rahi o taua mea ki roto i te matrix epoxy. He iti te CTE a Silica. Ma te whakakapi i te 85% ki te 90% o te rōrahi kapia ki te silica porowhita, ka tino heke te CTE katoa o te rauemi hiato, ka rite ki te mate silicon me te aukati i te pakanga.
A: Ae. Ko te silica porowhita tino pai te whakakii tuatahi e whakamahia ana i roto i nga kapi kapi i raro i te kapi mo te mapi-marama me te kohinga taumata wafer matatau. Ko te ahua maeneene, porowhita he mea whakahau mo tenei tono na te mea ka taea te rere tere o nga rawa ki raro i nga aputa mokitokito (he 10 ki te 50 micrometers) i raro i te mate ma te mahi kapi. Ko nga whakakī koki ka piri ki waenga i nga pupuhi konutai, ka wehea te whakakī, te hanga kore, ka kore e oti te kuhu ki raro.
A: Ko te tikanga hangahanga e tohu ana i te maatanga o te papanga, te sphericity, me te utu. Ko te whakakotahitanga o te mura ka whakarewa i te kiripaka kena tino parakore, a, ko te paerewa ahumahi mo nga puhui whakarewa epoxy-nui, e tuku ana i te sphericity tino pai me te parakore pai. Ko nga tikanga whakahiato matū, penei i te tukanga sol-gel, ka hangaia nga matūriki silica mai i nga kaarai ngota. Ko tenei huarahi ka puta mai te sphericity tata-tino me te tino parakore, e tino hiahiatia ana mo nga kohanga arorau tapahi me nga IC maumahara matatau kei reira nga wahanga-ia-piriona pokenga ka kore.
