Tirohanga: 0 Kaituhi: Kaiwhakatika Pae Wā Whakaputa: 2026-05-16 Takenga: Pae
Ko nga microelectronics matatau penei i nga maramara HPC me nga raupapa antenna 5G kei te piki haere nga tono whakahaere. Ko te paihikara waiariki tere me te ngaronga nui o nga tohu ka kaha ki te whakatau i o whiringa rauemi kapi. I te mea ka iti haere nga hononga hono me te Wafer-Level Packaging (WLP) ka anga whakamua, ka kore rawa nga whakakī korikori tuku iho. Kaore e taea e raatau te whakatutuki i te kaha rere me nga paepae dielectric e hiahiatia ana e nga hoahoanga maramara o te ao hou. Te whakauru Ko te silica parakore teitei ko te paerewa kore-whakawhitiwhiti mo te whakatau i enei take tika. He pai ki te whakatika i nga koretake o te Whakanuia Ngaaahua (CTE) me nga kohungahunga rheology pakeke. Ka ako koe me pehea tenei rauemi whakahirahira e whakarite kia kore te mahi i roto i te whakauru hiko hou. Ka tirotirohia ano e matou tana mahi nui ki te whakapumau i nga taputapu Karamiki Whakakotahitia Te Temehana Haka (LTCC).
Te Maamaa Taapaki me te Pokarekaretanga: Kia eke ki te >85 wt% reiti whakaki me tino tika te tohatoha rahi matūriki (PSD) hei whakataurite i nga matūriki taratara me te puehu tino pai (he paoa).
Tikanga Waitohu: He mea tino nui te hiako karaehe hiko me te iti o te waihiko (dk 3.8–4.0) mo te whakaiti i te whakaroa RC i roto i nga iahiko kapi.
Ngaaariki me te Whakapumautanga Hanganga: Ko te tukatuka matatau (pēnei i te whakamaaramatanga konumohe-whakaawe ki te cristobalite) ka whakarite kia rite te CTE me te kore e tupono ki te poke kawakore.
Rahinga Taupānga-motuhake: Ko te tukunga angitu e whakawhirinaki ana ki te whakataurite i nga tohu D50 ki te tukanga-i raro-10μm mo te Molded Underfill (MUF) me nga IC; 10–20μm mo nga Raina Whakakakahu Parahi (CCL) me nga TIM.
He maha nga wa e pa ana ki nga miihini hiko teitei ki te kore e tika te tohu o nga rawa. Ko te koretake o te roha ngaariki te take tuatahi i muri i te whakawhanaungatanga o te hanganga i roto i nga kete ngawari. Ka rerekë te mahana, ka rerekë ngä reiti roha i waenga i te mate silicon me te kapia huri noa ka puta te ahotea miihini. Ko tenei ahotea ka kutikuti i nga here waea ngawari, ka tarai i nga papa whakamarumaru. I tua atu, i te mea ka iti haere te mokowhiti o te raina i roto i nga whakatakotoranga PCB hou, ka roa te whakaroa o te kaha-atete (RC) i te tere tohu pounamu. Ko nga rauemi dielectric kaore i arotauhia ka kuhu, ka mahanga i te hiko tohu, ka pakaru nga reiti tuku raraunga.
Ka whai waahi nui nga kai whakakii ki te whakaiti i enei tupono. Te whakauru Ko te paura silica porowhita ka tino whakaiti i te CTE katoa o nga pūhui whakakikorua epoxy (EMC). Ma te whakakore i te kapia nui-whakawhanui me te silica iti-whakawhanui, ka whakapumauhia e nga miihini te katoa o nga kohinga kete. Ko te ahua porohita e whakarite kia mau tonu koe i te pakari o te hanganga e tika ana mo nga taiao semiconductor pakarukaru me te kore e whakararu i te injectability resin i te wa e hanga ana.
Ka toro tika atu tenei whakaritenga ki te hanga uku. Tika Ko te whakaurunga paura uku LTCC e whakawhirinaki nui ana ki nga taapiri silica parakore. Ko nga whakaurunga parakore teitei ka taea e nga kaihanga ki te whakaheke i te pāmahana hiri tuatahi. Ma tenei ka taea te puhipuhi tahi o nga tohu hiriwa, parahi ranei, me te kore e rewa. Ko te mea nui ake, ka mau tonu te pai o te kaha o te dielectric auau teitei me te whakapumau i te rerekeetanga o te whakahekenga kore puta noa i nga waahanga whakaputa.
Kaore e taea e koe te whakatutuki i nga reiti whakakī teitei ma te whakamahi i te kiripaka koki maru ranei. Ka piri nga ahua korikori, ka puta te waku nui e aukati ana i te rere kapia. Ko te hangahanga porohita he mea whakahau mo te whakatutuki i te kiato pikaunga teitei. Ma te whakamahi i nga matūriki porowhita pai, ka eke nga miihini ki runga ake i te 74% tepe o te whakahiato tata hexagonal. Ka eke ratou ki te reiti whakakii nui ake i te 85 wt% me te kore e pupuhi i te pokey pūhui. Ma tenei rerematanga pai ka taea e te puhui te whakatere marie i nga kohao miihini me te kore e kapohia nga hononga waea.
Ko te whakahaere i nga matūriki ultrafine, e kiia nei ko te 'fume', he wero miihini uaua. Ko te whakahiatotanga mura he hanga matūriki ultrafine ine tata ki te 0.1 μm. He ahua matarua enei poroiti iti. I roto i te kukū iti, mahi ratou rite piiraa pōro iti. Ka whakahinuhinuhia e ratou nga aputa i waenga i nga matūriki nui me te awhina i te whakakii i te kohao kapi. Heoi, ka nui ake te nui o te kohukohu i te rahi o te mata, ka tere te ngongo i te kapia e waatea ana me te whakangaro i te rere.
Ko te whakaaetanga a te Ahumahi e kii ana kia mau nga matūriki ultrafine i te taha o te paepae 20 vol%. Ko tenei ōwehenga motuhake ka whakataurite tika i te whakahinuhinu matūriki ki nga titaha pokey kino. Whakaarohia te wehenga e whai ake nei mo te paanga o te kukū kohuke ki te whanonga pūhui:
Kohanga Huka (vol%) |
Pānga Whakahinuhinu |
Pānga Poneke Puhui |
E tika ana mo te Whakakii Aputa Kuiti |
|---|---|---|---|
<5% |
Pohara (Te waku nui) |
Tikanga (Karekau ki te tau) |
Iti (Ka puta te kore) |
15% - 25% |
Tino pai |
Iti (Rere pumau) |
Tino pai |
40% - 50% |
He taupatupatu |
Atiati (Ka whakakoi) |
Kare e taea te whakamahi |
Ko te mahi o te mata ka whai waahi ki te whakahaere rheology. Ko te silica raw e whakahē ana i te kapia waro. Na reira, me tono koe i nga maimoatanga mata silane. Ka mahi a Silane hei piriti matū, he kaha te whakapai ake i te hototahi ki nga matrices epoxy. Kia tika te maimoatanga ka whakaitihia e te silica porowhita te rerenga kore e hiahiatia i roto i nga taika rokiroki. Ka tino aukati i te wehenga o te wahanga i te wa o te whakamaaramatanga o te pāmahana teitei.
Ko te silica amorphous paerewa e whakaatu ana i te CTE iti rawa, he maha nga wa e toro ana ki te 0.5 ppm/K. Ahakoa he pai te ahua, he maha tonu te heke o tenei uara ki te whakaata tika i te roha wera o nga maramara semiconductor motuhake me nga taputapu parahi. Hei whakatika i tenei, ka mahia e nga miihini nga huringa waahanga. Ka hurihia e ratou nga hanganga amorphous ki nga ahua tioata, penei i te cristobalite. Mā te āta whakahaere i te whātioatanga konumohe-whakaawe, ka tutuki nga kaihanga ki te whakarite CTE tika. Ma tenei mahi ka karo i nga raru nui e pa ana ki nga tikanga whakamaarama kawakore.
Ko nga herenga parakore e whakaatu mai ana i tetahi atu arai nui mo te kohinga teitei. Ko nga hua ka pakaru te paru. Ko nga pona o naianei e tino hiahia ana kia 7N (99.99999%) paura parakore teitei . Ko nga konganuku tohu he tino kino ki nga miihini hiko tairongo. Me tino whakawhāiti koe i ngā huānga pēnei i te Aluminium, te konutai, te konupūmā, te Titanium, me te pāhare pāporo ki raro iho i te 0.01 ppm. Ko te kore e pena ka pa mai nga hua kino. Ka heke nga katote konutai i raro i nga waahi hiko, ka tino paheke te marara me te waikura raina. I tua atu, ka puta nga matūriki alpha i nga matūriki iraruke iraruke, e puta tika ana nga hapa ngawari i roto i nga IC maumahara teitei.
He maha nga wa e nui atu ai nga hiahia whakahaere wera i nga kaha o te silica parakore. Na tenei ka tipu haere te ahua o nga whakakii ranu. Inaianei ka whakakotahihia te utu moni Hikohiko karaehe hiko me nga rawa tino kawe hei hanga i nga Rauemi Atanga Weariki (TIM). Ko tenei rautaki hybridization he maha nga painga o te miihini motuhake:
Nga Ara Ngawha Whakarei ake: Ko nga matūriki Boron Nitride me te Alumina te hanga piriti whakahaere pakari, ka tere te whakawhiti i te wera mai i te mate.
Ka mau tonu te Rere: Ko nga poroporo Silica ka whakakore i te abrasive, te ahua koki o nga taapiri whakahaere, me te pupuri i te tere werohanga.
Arotautanga Utu: Ko te whakakore i te Boron Nitride utu nui me nga porowhita silica ine tika ka whakataurite i nga whaainga wera me te kore e pakaru nga tahua kaupapa.
Tikanga Dielectric: Ko te whakakotahitanga ranu e pupuri ana i nga ahuatanga whakamaarama hiko tino pai, hei aukati i nga tarau kore e hiahiatia puta noa i te paparanga waiariki.
Ma te kowhiri i te tohatoha rahi matūriki (PSD) e tohu ana i te angitu o to tukanga whakauru. Ma te whakamahi i nga matūriki nui i roto i nga waahi whaiti ka aukati. Ma te whakamahi i nga matūriki iti i nga waahi katoa ka rahua te pokey. Ka whakarōpūhia e nga miihini enei rawa kia toru nga waahanga rahi tuatahi i runga i o raatau tohu D50.
Ko tenei waahanga e hiahia ana ki nga mana whakangao tino kaha. Ka whakamahi tuatahi koe i tenei moni paura semiconductor mo nga tono Molded Underfill (MUF), te kohinga IC matatau, me nga mahi whakaahua whakaahua uaua. I roto i te lithography, ka whakaitihia e nga rahi ultrafine te taratara o te taha raina. He tino matapae nga hua. Ka tutuki i a koe te whakakii orite o nga aputa whaiti moroiti, te kaha o te dielectric, me te ngaronga tohu iti i nga iarere teitei.
Ko te rahinga-waenganui te mahi mo nga tono hiko whanui. Ko nga whakamahinga tuatahi ko nga puhui poti taratara, Copper Clad Laminates (CCL), me nga whakaranu LTCC motuhake. Ina horahia ki enei taiao, ko nga putanga ko te tino pai ake o te maataki o te tïpako. Ka kite koe i te tino pai o te whakapiri kapia me te whakakaha miihini tino pumau ki te wiri tinana me te wiri.
Ko nga matūriki matūriki he mahi tino rerekee te kaupapa hanganga. Ko ta raatau whakamahinga tuatahi ko te whakakii miihini nui me nga paninga mata paerewa kaore e tika te urunga miihini. Ko nga hua ka aro nui ki te whakahekenga o te rōrahi whai hua. Ka whakaratohia e ratou te whakamaarama macroscopic mo nga waahanga hiko nui me nga puoro ahumahi mahi taumaha.
Rahi Kāwai (D50) |
Taupānga Tuatahi |
Putanga Hangarau Matua |
|---|---|---|
Tino Tino (0.01 - 10µm) |
Whakakīa i raro, ICs, Lithography |
Te whakaki i te waahi whaiti, te ngaronga tohu iti |
Awhe-waenganui (10 - 20µm) |
CCL, Potting, LTCC Ceramics |
Te pakari o te papapa, te piri kapia |
Korahi (>20µm) |
Whakakī Nui, Paerewa Paerewa |
Te nukutanga o te rōrahi, te whakamatao nui |
Ko te hoko rauemi mata pono me mohio ki nga mahi whakangao e pa ana ki o kaihoko. Ko te whakamaroke rehu tino tika me te whakakoi i te mura o te ahi he tino uauatanga hangarau. Ko te whakatutuki i nga tohatoha whaiti iti-3-micron ka pana nga taputapu whakangao ki ona rohe tinana. Ko enei tukanga e hiahia ana ki te whakaurunga kaha nui me te whakatikatika i nga wa katoa hei aukati i te agglomeration.
Ko te riterite o te rota-ki-rota te tohu tino nui mo tetahi kaihoko. Ko nga waihanga e mahi pai ana i roto i nga whakamatautau beta he maha nga wa ka taka ki te whakaputa mena ka paheke te rite o te kaiwhakarato. Tohua atu ki o roopu hoko ki te arotake i nga kaiwhakarato i runga i o raatau punaha aro turuki ahi. Kei te whakamahi ratou i nga kohinga urupare whakarōpūtanga? Ko to tohu tohu turanga me tono kia kaha te whakahaere i te rereke porotaka ki te <1% i waenga i nga puranga karapīpiti.
Hei whakatere haumaru i nga tupono hoko, whai i te arorau whakaraarangi poto. I mua i te tono mo nga tauira pairati, me whakamana e nga miihini hoko he arotakenga tuhinga. Whakatinanahia nga waahanga e whai ake nei mo te manatoko:
Tonoa te Whakaahua SEM: Matawai i nga whakaahua Electron Microscope ka tirohia ma te kanohi te hurihanga matūriki me te whakaatu i nga agglomerates e kore e hiahiatia.
Arotake i nga Raraunga DTA: Ko te Taatari Weahanga Rerekē e whakau ana i te wahanga whakamaatatanga tika, me te whakarite kia rite te ahua o te CTE ki te panui i raro i te wera.
Tātarihia nga Ripoata ICP-MS: Ko te Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry he tohu kaore e taea te whakakore he tohu kei te noho tonu nga konganuku i raro i te paepae 0.01 ppm.
Manatokohia nga Tohu BET: Ko nga inenga o te mata o te mata e tohu ana te nui o te kapia ka horomia e te paura, ka taea e koe te matapae tika i te whanonga pokey.
Ko te whakarite i te silica porohita kei tua atu i te whakakapinga rauemi taketake. E tohu ana i te whakatau tino mahi miihini e pa ana ki nga hua o te WLP, te pono o te tuku tohu, me te oranga wera katoa. Ma te tino whakahaere i te ahuahanga matūriki me te tono kia tino parakore, ka tiakina e koe nga hononga hou mai i nga momo rahunga kino.
Mo o mahi ka whai ake, whakatenatena i o miihini me o roopu hoko ki te hono tata i mua i te rapu rauemi. Maherehia o whakaritenga whakaki-aputa motuhake me nga whaainga korero ki runga i nga pihi tohatoha D50 a te kaihoko. Me whakamana i nga wa katoa nga maimoatanga mata me te whai i nga tuhinga whakarewa i mua i te tiimata i tetahi waahanga whakamatautau. Ma te whai i enei mahi whakatau ka tino pai te mahi o nga puhui putunga i raro i te taumahatanga mahi.
A: Ko te ahua porohita ka tino whakaiti i te waku, ka nui ake te utaina o te whakakii (he maha> 85 wt%). Ko tenei ahua ka pupuri i te pokey tino iti e hiahiatia ana mo te wero kapia ki roto i nga kohanga maramara moroiti. He pai te rere, he aukati i te pakaru o te waea me te hanga kore hau i te wa e hangai ana.
A: I te nuinga o te waa e pa ana ki nga taumata parakore teitei mai i te 99.9% ki te 99.99999% (7N). I roto i enei tohu, ko nga konganuku whakararuraru penei i te Konutai, te Konukawata, me te Rino ka herea ki nga waahanga-ia-piriona taumata. Ko tenei tino ma ka aukati i te poto o te hiko, te paheketanga o te whakamatao, me te tukunga matūriki alpha ka puta he hapa ngawari.
A: I roto i nga tono LTCC, ka mahi hei kaihoko whakaraerae. He mea whakapumau i te mau tonu o te dielectric, me te whakarite kia ma te tuku mo nga tohu auau teitei (5G/RF). Hei taapiri, ka awhina i nga miihini ki te whakahaere tika i nga reiti whakaheke tinana i te wa o te mahi puhipuhi-iti, me te whakarite kia mau tonu te ahua.
A: Ae. Ko te PSD kaore i arotauhia ka arahi tika atu ki nga koretake moroiti, ki te kohi koretake ranei i roto i te puhui. Na tenei ka waihanga i nga kukū o te ahotea o te rohe e tino pakaru ana i raro i te paihikara waiariki tere. Ko te PSD tika te whakarite i te whakahekenga CTE riterite, te tiaki i te hanganga mate katoa.
